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  1981年9月考入华中理工大学机械工程系,1985年7月本科毕业,1985年9月华中理工大学机械工程系硕士生,1987年6月硕士毕业,1987年9月华中理工大学机械工程系博士生,1990年6月博士毕业并留华中理工大学机械工程系工作。1990年11月清华大学精密仪器与机械学系博士后,1992年12月起精密仪器与机械学系教师,1994年晋升教授,1998年10月至2000年3月英国萨里大学空间中心访问教授。曾任精密仪器与机械学系光学教研组副主任、副系主任,2005年7月任精密仪器与机械学系主任。2007年12月任机械工程学院院长。2012年12月任精密仪器系主任(学科调整,成立精密仪器系)。2014年11月任校长助理。2015年4月兼任学科规划与建设办公室主任。2015年9月任清华大学党委常委、副校长。曾获国家技术发明二等奖、国家科技进步二等奖、国防科学技术二等奖、国家“做出突出贡献中国博士学位获得者”、“全国优秀博士后”、“千百万人才工程”、“全国优秀科技工作者”等。1999年教育部长江学者特聘教授,2013年当选中国工程院院士。目前担任中国微米纳米技术学会副理事长兼秘书长、中国仪器仪表学会副理事长、中国计量测试学会副理事长、国务院学位委员会仪器科学与技术学科评议组召集人等。